轴对准    x alignment x

射线对准曝光装置    x ray align and exposure equipment x

射线暗箱    x ray chamber x

射线衍射    x ray diffraction?x

射线剂量    x ray dose x

射线效应    x ray effect x

射线发射光谱    x ray emission spectrum x

射线检验    x ray examination x

射线曝光    x ray exposure x

射线硬度    x ray hardness x

射线图象增强器    x ray image intensifier x

射线图象形成    x ray imaging x

射线照射    x ray irradiation x

射线光刻    x ray lithography x

射线掩模    x ray mask x

射线光电子能谱学    x ray photoelectron spectroscopy x

射线量子    x ray quantum x

射线光刻胶    x ray resist x

射线灵敏度    x ray sensitivity x

射线源    x ray source x

射线光谱学    x ray spectroscopy?x

射线步进重复晒片机    x ray step and repeat printer x

射线测厚计    x ray thickness gage x

射线局部厚层断层摄影法    x ray topography x

射线管    x ray tube?x

射线肉眼检查    x ray visual control x

射线薄片分析仪    x ray wafer analyzer x

绘图仪    x y plotter x y

座标台    x y stage x y

氙    xenon?